发明授权
- 专利标题: 进气装置和包括该进气装置的腔室
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申请号: CN201710373466.X申请日: 2017-05-24
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公开(公告)号: CN108933074B公开(公告)日: 2020-06-19
- 发明人: 茅兴飞
- 申请人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构: 北京思创毕升专利事务所
- 代理商 孙向民; 廉莉莉
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32 ; H01L21/67
摘要:
一种进气装置和包括该进气装置的腔室,该进气装置包括:喷嘴,喷嘴为中空柱状,喷嘴的第一端的外周壁上设有凸出的第一轴肩,第二端的外周壁上设有凸出的第二轴肩;固定件,固定件为中空结构,在内壁上设有台阶,当喷嘴套置于固定件内时,台阶的台阶面与第一轴肩的端面相接合,固定件用于将进气装置固定至待安装件;第一密封圈,第一密封圈用于设置于第二轴肩的端面与待安装件之间;观察窗,观察窗设置于喷嘴的第一端的端面上;第二密封圈,第二密封圈设置在喷嘴的第一端的端面上的密封槽内。本发明的进气装置密封性强,安装便利。
公开/授权文献
- CN108933074A 进气装置和包括该进气装置的腔室 公开/授权日:2018-12-04