电镀装置及其电镀方法
摘要:
一种晶圆的电镀装置及其电镀方法,所述电镀装置包括:电镀容器,所述电镀容器用于容纳电镀液;晶圆基座,所述晶圆基座设置于所述电镀容器内,所述晶圆基座用于固定晶圆,被固定的晶圆的表面浸入所述电镀液;阳极电极,所述阳极电极位于所述电镀容器且浸入所述电镀液内;外电源组件,所述外电源组件位于所述电镀容器外部,且所述外电源组件的第一极与所述阳极电极电连接,所述外电源组件的第二极与所述晶圆基座电连接。本发明方案可以提高金属层的电镀质量,进而提高半导体器件的品质。
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