发明公开
CN109056038A 电镀装置及其电镀方法
审中-实审
- 专利标题: 电镀装置及其电镀方法
- 专利标题(英): Electroplating device and electroplating method thereof
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申请号: CN201811178509.X申请日: 2018-10-10
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公开(公告)号: CN109056038A公开(公告)日: 2018-12-21
- 发明人: 朱晓彤 , 吴孝哲 , 林宗贤 , 吴龙江 , 熊建锋 , 吴明
- 申请人: 德淮半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
- 专利权人: 德淮半导体有限公司
- 当前专利权人: 德淮半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 武振华; 吴敏
- 主分类号: C25D17/00
- IPC分类号: C25D17/00 ; C25D5/18 ; C25D7/12
摘要:
一种晶圆的电镀装置及其电镀方法,所述电镀装置包括:电镀容器,所述电镀容器用于容纳电镀液;晶圆基座,所述晶圆基座设置于所述电镀容器内,所述晶圆基座用于固定晶圆,被固定的晶圆的表面浸入所述电镀液;阳极电极,所述阳极电极位于所述电镀容器且浸入所述电镀液内;外电源组件,所述外电源组件位于所述电镀容器外部,且所述外电源组件的第一极与所述阳极电极电连接,所述外电源组件的第二极与所述晶圆基座电连接。本发明方案可以提高金属层的电镀质量,进而提高半导体器件的品质。