Invention Grant
- Patent Title: 具有第一空腔和第二空腔的微机械装置
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Application No.: CN201810658748.9Application Date: 2018-06-22
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Publication No.: CN109110725BPublication Date: 2024-02-13
- Inventor: M·兰巴赫
- Applicant: 罗伯特·博世有限公司
- Applicant Address: 德国斯图加特
- Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee Address: 德国斯图加特
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 侯鸣慧
- Priority: 102017210459.7 2017.06.22 DE
- Main IPC: B81B7/02
- IPC: B81B7/02 ; B81B7/00
Abstract:
本发明涉及一种微机械装置，具有第一空腔件(15)。本发明的核心在于，第二空腔(20)借助连接通道(30)与第一空腔(10)连接，其中，所述连接通道(30)具有封闭件(40)，所述第一空腔(10)和所述第二空腔(20)通过所述封闭件气密地相互封闭，其中，所述封闭件(40)要以电的方式打开。(10)和第二空腔(20)，所述第一空腔具有MEMS元
Public/Granted literature
- CN109110725A 具有第一空腔和第二空腔的微机械装置 Public/Granted day:2019-01-01
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