本文描述了一种利用高度集成LIDAR测量装置执行三维LIDAR测量的方法和系统。在一个方面中，照射源、检测器和照射驱动器被集成在单一印刷电路板上。另外，在一些实施例中，相关的控制和信号调节电子器件也集成在公共的印刷电路板上。此外，在一些实施例中，照射驱动器和照射源集成在被独立地封装并附接到印刷电路板的公共氮化镓基板上。在另一方面中，从照射源发射的照射光和被朝向检测器引导的返回光在该集成LIDAR测量装置内共用一公共光学路径。在一些实施例中，返回光通过分束器与照射光分开。在一些其他实施例中，该光学设计避免了与分束器相关的损失。