- 专利标题: 一种用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统
- 专利标题(英): Single-motor drive system used for grinding mechanism of silicon wafer dual-face grinding machine
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申请号: CN201811104925.5申请日: 2018-09-21
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公开(公告)号: CN109176300A公开(公告)日: 2019-01-11
- 发明人: 谢鸿波 , 李智彪 , 黄晋强 , 郭勇文 , 权纪亮 , 刘军
- 申请人: 广州半导体材料研究所
- 申请人地址: 广东省广州市天河区东莞庄路161号
- 专利权人: 广州半导体材料研究所
- 当前专利权人: 广州半导体材料研究所
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区东莞庄路161号
- 代理机构: 北京科亿知识产权代理事务所
- 代理商 汤东凤
- 主分类号: B24B37/08
- IPC分类号: B24B37/08 ; B24B47/12
摘要:
本发明公开了一种用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统,包括电机、研磨驱动机构、一级传动机构和二级传动机构,电机的电机驱动轴上安装有主驱动齿轮,研磨驱动机构包括游星轮片外圈驱动轮的驱动齿轮、下磨盘驱动齿轮、游星轮片内圈驱动轮的驱动齿轮和上磨盘驱动齿轮等,一级传动机构与主驱动齿轮传动连接并驱动游星轮片内圈驱动轮的驱动齿轮和上磨盘驱动齿轮同时转动,二级传动机构与一级传动机构传动连接并驱动游星轮片外圈驱动轮的驱动齿轮和下磨盘驱动齿轮同时转动;该用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统有利于提高研磨机的制造效益,以及简化硅晶片研磨工艺的指导,提升研磨机操作的效率和降低误操作的风险。
公开/授权文献
- CN109176300B 一种用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统 公开/授权日:2020-10-13