一种用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统
摘要:
本发明公开了一种用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统,包括电机、研磨驱动机构、一级传动机构和二级传动机构,电机的电机驱动轴上安装有主驱动齿轮,研磨驱动机构包括游星轮片外圈驱动轮的驱动齿轮、下磨盘驱动齿轮、游星轮片内圈驱动轮的驱动齿轮和上磨盘驱动齿轮等,一级传动机构与主驱动齿轮传动连接并驱动游星轮片内圈驱动轮的驱动齿轮和上磨盘驱动齿轮同时转动,二级传动机构与一级传动机构传动连接并驱动游星轮片外圈驱动轮的驱动齿轮和下磨盘驱动齿轮同时转动;该用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统有利于提高研磨机的制造效益,以及简化硅晶片研磨工艺的指导,提升研磨机操作的效率和降低误操作的风险。
0/0