本发明公开了一种溶液配送装置和具有其的循环流体回路系统，溶液配送装置包括：壳体、活塞、气源和控制器，壳体限定出密闭腔体，活塞沿轴向可活动地设在壳体内且与壳体内壁之间密封配合，活塞将密闭腔体分为上腔室和下腔室，下腔室具有适于注入待配送溶液的进液口，且下腔室通过配送管路与循环流体回路系统连通，其中，上腔室的体积V1和下腔室的体积V2之间满足：V1/V2≥100，气源通过接管与上腔室连通，控制器分别与气源和上腔室相连，控制器根据循环流体回路系统中的压力控制气源向上腔室内提供气体以形成气体预压。根据本发明实施例的溶液配送装置具有流量可控和运行可靠等特点。