发明公开
- 专利标题: 一种高性能晶体管及其制造方法
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申请号: CN201811242989.1申请日: 2018-10-24
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公开(公告)号: CN109273526A公开(公告)日: 2019-01-25
- 发明人: 张宇 , 丁庆 , 吴光胜 , 冯军正 , 蓝永海
- 申请人: 深圳市华讯方舟微电子科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区西乡街道宝田一路臣田工业区37栋2楼东
- 专利权人: 深圳市华讯方舟微电子科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华讯方舟微电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区西乡街道宝田一路臣田工业区37栋2楼东
- 代理机构: 深圳中一专利商标事务所
- 代理商 官建红
- 主分类号: H01L29/778
- IPC分类号: H01L29/778 ; H01L23/373 ; H01L21/335
摘要:
本发明属于电子技术领域,公开了一种高性能晶体管及其制造方法,包括多晶衬底层、键合层、第一非掺杂GaN层、AlGaN层、源电极、漏电极以及栅电极;其中,键合层设置在多晶衬底层第一表面;第一非掺杂GaN层设置在键合层第一表面;AlGaN层设置在非掺杂GaN层第一表面;源电极和漏电极间隔设置在AlGaN层第一表面;栅极设置在AlGaN层第一表面的源电极和漏电极之间区域;由于通过键合和衬底移除技术将AlGaN/GaN器件转移到高导热多晶衬底材料上,有效提高了器件在高频应用时散热性能,从而提高器件及其应用的系统的可靠性;增加了产品的市场竞争力。
公开/授权文献
- CN109273526B 一种高性能晶体管及其制造方法 公开/授权日:2024-06-14
IPC分类: