发明公开
CN109280968A 一种石墨加热器及硅晶体生长炉
无效 - 撤回
- 专利标题： 一种石墨加热器及硅晶体生长炉
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申请号： CN201710601867.6申请日： 2017-07-21
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公开(公告)号： CN109280968A公开(公告)日： 2019-01-29
- 发明人: 孙鹏 , 陈骏 , 张涛 , 刘瑞鸿
- 申请人： 镇江仁德新能源科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号
- 专利权人： 镇江仁德新能源科技有限公司
- 当前专利权人： 镇江仁德新能源科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号
- 代理机构： 北京金信知识产权代理有限公司
- 代理商 黄威; 郭迎侠
- 主分类号： C30B29/06
- IPC分类号： C30B29/06 ; C30B30/04
摘要：
本发明公开了一种石墨加热器及硅晶体生长炉，所述石墨加热器用于硅晶体生长炉中，所述石墨加热器包括非闭合的环状的加热体，其两端分别形成所述加热体的第一端和第二端，所述加热体上设有至少两个电极脚；所述石墨加热器通过所述电极脚与电源连接，以使所述石墨加热器发热并产生磁场。从而能够抑制硅晶体生长炉中硅熔液对坩埚的壁的冲刷，减少熔体中O、C等杂质的含量，从而获得低含氧碳量的硅晶体，同时还有利于获得平整的固液生长界面。
IPC分类:
