本发明提出了一种基于半模基片集成波导的滤波功分器，以基片集成波导矩形腔和半模基片集成波导矩形腔为基本谐振单元，相邻矩形腔之间通过开窗实现磁耦合，开S型槽实现电耦合，第Ⅱ阶半模基片集成波导矩形腔开口之间有跨接隔离电阻，下表面金属导电层与开口处对应位置设置有槽线，输入输出端采用微带线-共面波导结构。基片集成波导矩形腔包括上下表面均覆有金属导电层的介质基片，且介质基片上沿腔体边缘均匀分布有贯穿上下金属导电层的金属通孔；半模基片集成波导矩形腔由基片集成波导矩形腔沿磁壁分割得到。本发明结构紧凑，提高了滤波功分器的隔离特性和带外抑制性能。