本发明提供了一种原子层沉积系统，具有反应腔室，与反应腔室相连接的前驱体传输管路，第一惰性气体传输管路与反应腔室连接，用于向反应腔室传输惰性气体，以维持反应腔室压力平稳；第二惰性气体传输管路与反应腔室连接，用于向反应腔室输送惰性气体，对反应腔室内进行吹扫，以及与反应腔室连接的真空管路和真空泵，用于抽出反应腔室内多余的气体，从而避免了复杂的气体清洁过程，减少了前驱体反应源的浪费；同时，确保了反应腔室的压强和气流场的稳定，避免气路扰动引起的杂质，从而获得致密性好、杂质含量低的薄膜。