一种具有环形电极结构的LED芯片及其制备方法
摘要:
一种具有环形电极结构的LED芯片及其制备方法,该芯片是在p型GaN层上设置有透明导电层,透明导电层上设置有钝化层,n型GaN层上设置有环形台面,透明导电层上设置有p电极,环形台面上设置有n电极,n电极呈环形;上述芯片的制备方法包括以下步骤:(1)得到GaN基外延片;(2)采用环形结构的掩膜版刻蚀出环形台面;(3)形成透明导电层;(4)制作钝化层;(5)腐蚀钝化层;(6)在p型GaN层表面的钝化层上制备P电极,在环形台面上制备n电极。本发明通过采用环形电极结构,解决了P、N电极的高度差问题而易于焊线,减少了有源层的刻蚀面积,通过金属电极的反射作用,可以将电极周围的光进行反射,提高了亮度。
0/0