- 专利标题: 采用单独存储器单元读取、编程和擦除的存储器单元阵列
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申请号: CN201780030383.9申请日: 2017-05-11
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公开(公告)号: CN109328385B公开(公告)日: 2023-03-21
- 发明人: H.V.陈 , V.蒂瓦里 , N.杜
- 申请人: 硅存储技术公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 硅存储技术公司
- 当前专利权人: 硅存储技术公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 刘书航; 闫小龙
- 优先权: 62/337582 20160517 US
- 国际申请: PCT/US2017/032280 2017.05.11
- 国际公布: WO2017/200850 EN 2017.11.23
- 进入国家日期: 2018-11-16
- 主分类号: G11C16/04
- IPC分类号: G11C16/04 ; G11C16/14 ; G11C16/10
摘要:
本发明公开了一种存储器设备和擦除该存储器设备的方法,该存储器设备包括半导体材料衬底,和形成在衬底上并布置成行和列的阵列的多个存储器单元。存储器单元中的每一个储器单元包括在衬底中间隔开的源极区和漏极区,其中衬底中的沟道区在源极区和漏极区之间延伸,设置在沟道区的与源极区相邻的第一部分上方并与该第一部分绝缘的浮栅,设置在沟道区的与漏极区相邻的第二部分上方并与该第二部分绝缘的选择栅,以及设置在源极区上方并与源极区绝缘的编程擦除栅。单独或与选择栅极线或源极线组合的编程擦除栅极线沿列方向布置,使得每个存储器单元可以被单独编程、读取和擦除。
公开/授权文献
- CN109328385A 采用单独存储器单元读取、编程和擦除的三栅极闪存存储器单元阵列 公开/授权日:2019-02-12