本发明涉及电脉冲驱动及点火与起爆领域，具体涉及一种平面三电极驱动器及其制备方法。驱动器包括：基片；三电极层：设置在基片之上，包括阳极、阴极和触发极，阳极和阴极为左右对称半圆形结构，阳极和阴极间设置有主电极间隙，触发电极设置在阳极和阴极之间，且距离阴极更近；聚合物飞片层：聚合物飞片层置于三电极层之上，且在阳极、阴极和触发极的端部预留焊盘区；加速膛：置于聚合物飞片层上方，加速膛为中空圆柱形，加速膛的膛孔直径根据三电极尺寸设计，需将三电极发生电爆炸的地方完全覆盖。本申请通过直接将平面三电极开关作为驱动器，简化了驱动系统的结构。本申请采用微机电系统工艺制备平面三电极驱动器，可以实现批量化生产。