一种用于氮化铝单晶生长的籽晶粘接方法
摘要:
一种用于氮化铝单晶生长的籽晶粘接方法,包括(1)将铝酸盐粉末与无机聚合物粘结剂混合均匀,制成无机胶;(2)将无机胶均匀涂到衬底上;(3)将直径为5‑300mm,厚度为0.1‑5mm的AlN籽晶置于衬底上的无机胶上;(4)将粘接好的籽晶先在10‑80N压力下室温放置5~20小时;(5)然后将籽晶和衬底一同放入50‑300℃烘箱中加热1‑12h后,缓慢降温,最终籽晶和衬底紧密粘合。本发明无需特殊复杂工艺使大尺寸AlN籽晶牢固粘接在衬底上,不易产生空隙,且能经受2200℃以上高温,籽晶不脱落,工艺简单,成本低,在粘结籽晶上能够生长出高质量AlN单晶,适合于批量生产。
公开/授权文献
0/0