一种带载体的极薄铜箔、极薄铜箔生产方法及装置
摘要:
本发明公开了一种带载体的极薄铜箔、极薄铜箔生产方法及装置。极薄铜箔生产装置包括:按照PET膜纳米铜层运动方向依次排列设置的放卷轴、剥离层电镀槽、第一水洗槽、镀铜装置、第二水洗槽、极薄铜箔表面处理装置和收卷轴;放卷轴用于固定在PET膜表面磁控溅射铜层后形成的PET膜纳米铜层;剥离层电镀槽用于对PET膜纳米铜层进行电镀处理,在PET膜纳米铜层的表面形成剥离层;镀铜装置用于将剥离层经过多级硫酸铜电解进行铜层增厚处理,在剥离层的表面形成极薄铜箔;极薄铜箔表面处理装置用于对极薄铜箔进行表面处理。采用本发明的带载体的极薄铜箔、极薄铜箔生产方法及装置,具有降低带载体的极薄铜箔的生产成本和使用成本的优点。
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