- 专利标题: 基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法
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申请号: CN201811360533.5申请日: 2018-11-15
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公开(公告)号: CN109524512B公开(公告)日: 2020-07-03
- 发明人: 黄永安 , 周劳伯洋 , 卞敬 , 杨彪
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 孔娜; 曹葆青
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L27/15
摘要:
本发明属于微型元件巨量转移相关技术领域,其公开了一种基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法,该方法包括以下步骤:(1)将红色微型发光二极管阵列、蓝色微型发光二极管阵列及绿色微型发光二极管阵列分别粘接在三个临时转移基板上;(2)分别将上述三种颜色的微型发光二极管阵列自对应的所述临时转移基板转移至透明基板上,该透明基板设置有激光释放层;(3)紫外激光经该可控微反射镜阵列后被分为三束图案化激光,该三束图案化激光分别照射于三种微型发光二极管所连接的激光释放层上,进而使三种颜色的微型发光二极管选择性地转移至目标基板上。本发明提高了转移效率,且可同时转移红、绿、蓝三种颜色的微型发光二极管。
公开/授权文献
- CN109524512A 基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法 公开/授权日:2019-03-26
IPC分类: