基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法
摘要:
本发明属于微型元件巨量转移相关技术领域,其公开了一种基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法,该方法包括以下步骤:(1)将红色微型发光二极管阵列、蓝色微型发光二极管阵列及绿色微型发光二极管阵列分别粘接在三个临时转移基板上;(2)分别将上述三种颜色的微型发光二极管阵列自对应的所述临时转移基板转移至透明基板上,该透明基板设置有激光释放层;(3)紫外激光经该可控微反射镜阵列后被分为三束图案化激光,该三束图案化激光分别照射于三种微型发光二极管所连接的激光释放层上,进而使三种颜色的微型发光二极管选择性地转移至目标基板上。本发明提高了转移效率,且可同时转移红、绿、蓝三种颜色的微型发光二极管。
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