发明授权
- 专利标题： 离子源及离子源的运转方法
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申请号： CN201810725722.1申请日： 2018-07-04
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公开(公告)号： CN109559963B公开(公告)日： 2022-04-29
- 发明人: 平井裕也 , 松本武
- 申请人： 日新离子机器株式会社
- 申请人地址： 日本京都府
- 专利权人： 日新离子机器株式会社
- 当前专利权人： 日新离子机器株式会社
- 当前专利权人地址： 日本京都府
- 代理机构： 隆天知识产权代理有限公司
- 代理商 黄艳; 李琛
- 优先权： 2017-185545 20170927 JP
- 主分类号： H01J37/08
- IPC分类号： H01J37/08 ; H01J37/32
摘要：
本发明涉及一种离子源和离子源的运转方法，不论灯丝的丝径为何都可谋求与灯丝更换相关的离子源的稼动损失的降低。该离子源具备有：多根灯丝；控制装置，其个别地设定供给于各灯丝的通电电流；以及电压计，其量测在各灯丝的电压；其中，控制装置从设定的电流值与量测的电压值算出各灯丝的目前的电阻值，且根据基准的电阻值与目前的电阻值的差，将供给于各灯丝的通电电流进行再设定，以使各灯丝的目前的电阻值成为基准的电阻值。
公开/授权文献
- CN109559963A 离子源及离子源的运转方法 公开/授权日：2019-04-02
