检查辅助具、具备所述辅助具的基板检查装置及检查辅助具的制造方法
Abstract:
本发明的检查辅助具是用以使探针Pr接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具,检查辅助具包括:检查侧支撑体,是具有相对向板51,所述相对向板51是设有与所述基板相对向而配置的相对向面F;以及电极侧支撑体6,是具有支撑板61至支撑板63,所述支撑板61至支撑板63是与位于所述相对向板51的与所述相对向面F为相反侧处的电极板9相对向而配置;支撑板61至支撑板63是设有插通并支撑探针Pr的后端部的探针支撑孔23,所述探针支撑孔23是相对于与相对向板51的相对向面F正交的方向的基准线Z,沿着以一定角度θ倾斜的支撑线V而形成,并且具备限制所述探针Pr的后端部往与所述支撑线V的倾斜方向正交的方向移动的限制面。
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