Invention Publication
- Patent Title: 检查辅助具、具备所述辅助具的基板检查装置及检查辅助具的制造方法
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Application No.: CN201780046355.6Application Date: 2017-07-20
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Publication No.: CN109564244APublication Date: 2019-04-02
- Inventor: 山崎秀和 , 太田宪宏
- Applicant: 日本电产理德股份有限公司
- Applicant Address: 日本京都府京都市右京区西京极堤外町10
- Assignee: 日本电产理德股份有限公司
- Current Assignee: 日本电产理德股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本京都府京都市右京区西京极堤外町10
- Agency: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- Agent 杨文娟; 臧建明
- Priority: 2016-148742 2016.07.28 JP
- International Application: PCT/JP2017/026276 2017.07.20
- International Announcement: WO2018/021140 JA 2018.02.01
- Date entered country: 2019-01-25
- Main IPC: G01R1/073
- IPC: G01R1/073 ; G01R31/26 ; G01R31/28

Abstract:
本发明的检查辅助具是用以使探针Pr接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具,检查辅助具包括:检查侧支撑体,是具有相对向板51,所述相对向板51是设有与所述基板相对向而配置的相对向面F;以及电极侧支撑体6,是具有支撑板61至支撑板63,所述支撑板61至支撑板63是与位于所述相对向板51的与所述相对向面F为相反侧处的电极板9相对向而配置;支撑板61至支撑板63是设有插通并支撑探针Pr的后端部的探针支撑孔23,所述探针支撑孔23是相对于与相对向板51的相对向面F正交的方向的基准线Z,沿着以一定角度θ倾斜的支撑线V而形成,并且具备限制所述探针Pr的后端部往与所述支撑线V的倾斜方向正交的方向移动的限制面。
Public/Granted literature
- CN109564244B 检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法 Public/Granted day:2022-01-07
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