发明授权
摘要:
本发明实施例提供了一种太赫兹波发生器。该发生器包括衬底、N‑型DBR反射镜、至少两个激光发射组件、钝化层、N‑型电极、P‑型电极、光栅层和非线性晶体;激光发射组件用于发射激光;N‑型DBR反射镜沉积于衬底的任一端面上;每一激光发射组件沉积于每一凸起结构上;钝化层覆盖沉积在激光发射组件和N‑型DBR反射镜表面上,且钝化层的第一部位处设有开口;非线性晶体相对开口、固定置于与开口相距预设距离的位置;N‑型电极贯穿钝化层与N‑型DBR反射镜电连接;P‑型电极环绕开口、贯穿钝化层与激光发射组件电连接;且各个激光发射组件之间的连接方式为串联连接或并联连接。应用本发明实施例提供的发生器具有高的集成度。
公开/授权文献
- CN109586146A 一种太赫兹波发生器 公开/授权日:2019-04-05