光子辐射显微镜样品座、测试方法及显微镜装置
Abstract:
本发明公开了一种光子辐射显微镜样品座,包括:基板,所述基板上设置有用于承载样品的样品承载区;所述样品承载区内沿垂直方向贯穿所述基板;所述样品承载区内设有透光材质的承载板;金属电极,其设置在所述基板中并沿垂直方向贯穿所述基板;接合线,用于将所述待测样品的扎针区域与所述金属电极电连接。本发明使原有的正/背面探测式EMMI/OBIRCH应用分析设备具有从两面进行分析应用的能力。可更加方便快捷的精确定位缺陷位置。
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