Invention Publication
- Patent Title: 光子辐射显微镜样品座、测试方法及显微镜装置
- Patent Title (English): Photon radiation microscope sample holder, testing method and microscope device
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Application No.: CN201811630274.3Application Date: 2018-12-29
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Publication No.: CN109633418APublication Date: 2019-04-16
- Inventor: 丁德建 , 刘海岸 , 曹茂庆
- Applicant: 上海华力集成电路制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
- Assignee: 上海华力集成电路制造有限公司
- Current Assignee: 上海华力集成电路制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 戴广志
- Main IPC: G01R31/311
- IPC: G01R31/311 ; G01R31/28 ; G02B21/34

Abstract:
本发明公开了一种光子辐射显微镜样品座,包括:基板,所述基板上设置有用于承载样品的样品承载区;所述样品承载区内沿垂直方向贯穿所述基板;所述样品承载区内设有透光材质的承载板;金属电极,其设置在所述基板中并沿垂直方向贯穿所述基板;接合线,用于将所述待测样品的扎针区域与所述金属电极电连接。本发明使原有的正/背面探测式EMMI/OBIRCH应用分析设备具有从两面进行分析应用的能力。可更加方便快捷的精确定位缺陷位置。
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