- 专利标题: 一种适用于微型发光二极管的选择性巨量转移方法
-
申请号: CN201811332087.7申请日: 2018-11-09
-
公开(公告)号: CN109661122B公开(公告)日: 2020-01-21
- 发明人: 黄永安 , 卞敬 , 周劳伯洋 , 杨彪
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 孔娜; 曹葆青
- 主分类号: H05K3/30
- IPC分类号: H05K3/30 ; H05K13/04 ; G09F9/33 ; H01L33/00
摘要:
本发明属于微型发光二极管转移相关技术领域,其公开了一种适用于微型发光二极管的选择性巨量转移方法,该方法包括以下步骤:(1)将制备在蓝宝石基板上的微型发光二极管阵列粘接在临时转移基板上;(2)将所述微型发光二极管阵列自所述临时转移基板转移到透明基板上,所述透明基板设置有热释放胶层;(3)选择性地点亮所述微型发光二极管阵列中的待转移微型发光二极管;(4)采用紫外激光扫描所述透明基板的背面,使点亮的所述待转移微型发光二极管脱离所述热释放胶层并转移到目标基板上。本发明工艺简单,适用性较强,准确性较高,且提高了良品率及生产效率。
公开/授权文献
- CN109661122A 一种适用于微型发光二极管的选择性巨量转移方法 公开/授权日:2019-04-19