电容的制作方法
摘要:
本发明公开一种电容的制作方法,其步骤包含在一牺牲层中形成电容凹槽,其中该电容凹槽具有波浪状的侧壁轮廓、在该电容凹槽的侧壁上形成一下电极层、在该电容凹槽中填满一支撑层、移除该牺牲层而形成多个由该下电极层以及该支撑层所构成的电容柱、在该些电容柱上形成一电容介电层、以及在该电容介质层上形成一上电极层。
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