形成低高度分裂栅存储器单元的方法
摘要:
本公开提供了一种形成存储器器件的方法,所述方法包括:在半导体衬底上形成第一绝缘层;在所述第一绝缘层上形成导电材料层;在所述导电材料层上形成绝缘块;沿着所述绝缘块的侧表面并且在所述导电材料层上形成绝缘间隔物;蚀刻所述导电材料层以形成所述导电材料的直接地设置在所述绝缘块和所述绝缘间隔物下方的块;去除所述绝缘间隔物;形成第二绝缘层,所述第二绝缘层具有第一部分和第二部分,所述第一部分包裹所述导电材料的所述块的暴露的上边缘,所述第二部分设置在所述衬底上方的在所述第一绝缘层的第一部分上;以及形成通过所述第二绝缘层与所述导电材料的所述块绝缘的并且通过所述第一绝缘层和所述第二绝缘层与所述衬底绝缘的导电块。
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