发明公开
- 专利标题： 用于制备砷化镓衬底的方法、砷化镓衬底及其用途
- 专利标题（英）： PROCESS FOR PRODUCING A GALLIUM ARSENIDE SUBSTRATE, GALLIUM ARSENIDE SUBSTRATE AND USE THEREOF
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申请号： CN201910045917.6申请日： 2014-02-12
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公开(公告)号： CN109801836A公开(公告)日： 2019-05-24
- 发明人: W·弗利格尔 , C·克莱门特 , C·维劳尔 , M·舍费尔奇甘 , A·克莱茵韦希特 , S·艾希勒 , B·韦纳特 , M·梅德尔
- 申请人： 弗赖贝格化合物原料有限公司
- 申请人地址： 德国弗赖贝格
- 专利权人： 弗赖贝格化合物原料有限公司
- 当前专利权人： 弗赖贝格化合物原料有限公司
- 当前专利权人地址： 德国弗赖贝格
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 邹智弘
- 优先权： 102013002637.7 2013.02.15 DE
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L29/20 ; G01N21/21 ; G01N21/17
摘要：
本发明涉及用于制备经表面处理的砷化镓衬底的新方法，和新提供的砷化镓衬底及其用途。根据本发明的方法的改进基于特殊的最终表面处理，其中使砷化镓衬底的至少一个表面在干燥条件下借助UV辐照和/或臭氧气体进行氧化处理，使砷化镓衬底的至少一个表面与至少一种液体介质接触，以及马兰葛尼式干燥所述砷化镓衬底。根据本发明提供的砷化镓衬底显示出迄今未获得的表面性质，尤其是所述表面性质之均匀性，其可借助光学表面分析仪检测，尤其是借助椭圆偏振侧向衬底映射用于光学不接触定量表征。
IPC分类:
