发明公开
- 专利标题: 一种图像传感单元及其制作方法、图像传感器
- 专利标题(英): Image sensing unit and manufacturing method thereof, and image sensor
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申请号: CN201811524539.1申请日: 2018-12-13
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公开(公告)号: CN109801934A公开(公告)日: 2019-05-24
- 发明人: 臧凯 , 李爽 , 马志洁
- 申请人: 深圳市灵明光子科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽街道高新技术产业园北区清华信息港科研楼4层410号
- 专利权人: 深圳市灵明光子科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市灵明光子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽街道高新技术产业园北区清华信息港科研楼4层410号
- 代理机构: 广州嘉权专利商标事务所有限公司
- 代理商 唐致明; 洪铭福
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
本发明公开了一种图像传感单元及其制作方法、图像传感器,其中,图像传感单元设置有陷光结构,入射光经过陷光结构反射、散射、折射后被分散到各个角度,加上侧壁反射墙的反射作用,可以延长光在图像传感单元中的有效光程,从而提高了光在图像传感单元中的吸收效率,而不需增加器件厚度;另外,一种图像传感单元的制作方法,实现了图像传感单元的制作,其中,图像传感单元具有第一陷光结构和第二陷光结构,可以提高图像传感单元的光吸收效率。