Invention Publication
- Patent Title: 树脂的制造方法及感光化射线性或感放射线性组合物的制造方法
- Patent Title (English): METHOD FOR PRODUCING RESIN, AND METHOD FOR PRODUCING ACTIVE RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION
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Application No.: CN201780062407.9Application Date: 2017-10-02
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Publication No.: CN109803990APublication Date: 2019-05-24
- Inventor: 金子明弘 , 平野修史 , 二桥亘
- Applicant: 富士胶片株式会社
- Applicant Address: 日本国东京都
- Assignee: 富士胶片株式会社
- Current Assignee: 富士胶片株式会社
- Current Assignee Address: 日本国东京都
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 曹阳
- Priority: 2016-212953 2016.10.31 JP
- International Application: PCT/JP2017/035839 2017.10.02
- International Announcement: WO2018/079203 JA 2018.05.03
- Date entered country: 2019-04-09
- Main IPC: C08F8/12
- IPC: C08F8/12 ; C08F212/14 ; C08F220/16 ; C08F224/00 ; G03F7/038 ; G03F7/039 ; G03F7/20

Abstract:
本发明提供一种能够制造能够形成具有优异的解析性的抗蚀剂膜且能够减少形成图案时的浮渣的树脂的树脂的制造方法及感光化射线性或感放射线性组合物的制造方法。所述树脂的制造方法制造包含通式(1)所表示的重复单元和含有通过酸的作用进行分解而产生极性基团的基团的重复单元的树脂,所述制造方法包括以下工序:第一工序,得到包含通式(2)所表示的重复单元和含有通过酸的作用进行分解而产生极性基团的基团的重复单元的树脂前驱物;及第二工序,用酸或碱对树脂前驱物中的通式(2)所表示的重复单元中的-OY所表示的基团进行脱保护而得到通式(1)所表示的重复单元。
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