树脂的制造方法及感光化射线性或感放射线性组合物的制造方法
Abstract:
本发明提供一种能够制造能够形成具有优异的解析性的抗蚀剂膜且能够减少形成图案时的浮渣的树脂的树脂的制造方法及感光化射线性或感放射线性组合物的制造方法。所述树脂的制造方法制造包含通式(1)所表示的重复单元和含有通过酸的作用进行分解而产生极性基团的基团的重复单元的树脂,所述制造方法包括以下工序:第一工序,得到包含通式(2)所表示的重复单元和含有通过酸的作用进行分解而产生极性基团的基团的重复单元的树脂前驱物;及第二工序,用酸或碱对树脂前驱物中的通式(2)所表示的重复单元中的-OY所表示的基团进行脱保护而得到通式(1)所表示的重复单元。
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