- 专利标题: 用于生长SiC晶体的SiC原料的制备方法和制备装置
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申请号: CN201780054385.1申请日: 2017-03-30
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公开(公告)号: CN109844185B公开(公告)日: 2020-11-03
- 发明人: 彭同华 , 刘春俊 , 王波 , 张平 , 邹宇 , 赵宁
- 申请人: 新疆天科合达蓝光半导体有限公司 , 北京天科合达半导体股份有限公司
- 申请人地址: 新疆维吾尔自治区石河子市石河子开发区双拥路8-9号
- 专利权人: 新疆天科合达蓝光半导体有限公司,北京天科合达半导体股份有限公司
- 当前专利权人: 新疆天科合达蓝光半导体有限公司,北京天科合达半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址: 新疆维吾尔自治区石河子市石河子开发区双拥路8-9号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 王学强
- 国际申请: PCT/CN2017/078726 2017.03.30
- 国际公布: WO2018/176302 ZH 2018.10.04
- 进入国家日期: 2019-03-11
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B23/06
摘要:
提供用于生长SiC晶体的SiC原料的制备方法和装置。该方法包括:将SiC粉料装入第一石墨坩埚中,在第一石墨坩埚上倒置安装第二石墨坩埚;将安装好的两个石墨坩埚放入加热装置中,将加热装置抽真空并升温至预设温度;其中,第一石墨坩埚位于相对高温区,第二石墨坩埚位于相对低温区,SiC粉料升华并被输运至第二石墨坩埚中而结晶,以获得结晶的SiC原料,该原料将被用于生长SiC晶体。该装置包括第一、第二石墨坩埚以及加热装置,且自第二石墨坩埚底部向上设置隔离件,该隔离件与第二石墨坩埚的侧壁间隔预定距离。该方法和装置能够降低由此原料制得的SiC晶体中的杂质含量,减少微观包裹物,降低位错密度,提供中后期SiC晶体的生长速率和产率。
公开/授权文献
- CN109844185A 用于生长SiC晶体的SiC原料的制备方法和制备装置 公开/授权日:2019-06-04
IPC分类: