发明授权
- 专利标题： 一种离子注入机垂直扫描装置
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申请号： CN201910151233.4申请日： 2019-02-28
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公开(公告)号： CN109860012B公开(公告)日： 2021-02-05
- 发明人: 袁卫华 , 彭立波 , 程文进 , 许波涛 , 徐松 , 王迪平 , 周波
- 申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 申请人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 代理机构： 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 周长清; 徐好
- 主分类号： H01J37/02
- IPC分类号： H01J37/02 ; H01J37/317
摘要：
本发明公开了一种离子注入机垂直扫描装置，离子注入机包括真空腔室及位于真空腔室内的靶台，垂直扫描装置包括支架、主轴、用于驱动主轴升降的第一驱动机构、以及用于驱动主轴旋转的第二驱动机构，所述真空腔室设于所述支架上，所述主轴上端与所述靶台相连，主轴下端延伸至所述真空腔室外、并与所述第一驱动机构和第二驱动机构相连。本发明具有可减少占用真空工艺腔室空间，避免影响工艺腔室极限真空度等优点。
公开/授权文献
- CN109860012A 一种离子注入机垂直扫描装置 公开/授权日：2019-06-07
