-
公开(公告)号：CN108953616B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201810811928.6
申请日：2018-07-23
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要： 本发明公开了一种用于反应腔室的拉杆结构，包括拉杆、波纹管和驱动单元，拉杆一端位于反应腔室内，另一端位于反应腔室外，波纹管套于拉杆于反应腔室外的一端，波纹管的第二端与反应腔室密封连接，其第一端具有密封套，密封套套于拉杆上，密封套与拉杆之间设有环形密封腔，环形密封腔内于拉杆上依次套有第一密封圈、第一密封压垫、第二密封圈和第二密封压垫，第二密封压垫靠近密封套的外侧，拉杆与密封套的外侧设有用于压紧第二密封压垫的压紧件，驱动单元与密封套连接，并驱动密封套带动拉杆相对反应腔室往复直线移动。本发明将拉杆的密封由现有技术中的滑动密封转变为第一密封圈和第二密封圈的静态密封，密封效果好，对密封圈磨损小，稳定可靠。
-
公开(公告)号：CN111199858A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201811381226.5
申请日：2018-11-20
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种成形宽带离子束注入机，包括用于产生成形宽带离子束的离子源、引出电极、分析器、带分析缝的分析光栏、平行透镜以及旋转靶盘，所述离子源、引出电极、分析器、分析光栏、平行透镜以及旋转靶盘依次布置，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，经过所述平行透镜后的成形宽带离子束的宽度为a、所述环形注入区域的半径为b，则a≥b。本发明具有能够降低在大剂量注入、高产能的应用场景下的晶片表面的温升，满足一些对温度敏感的特殊材料的注入工艺要求的优点。
-
公开(公告)号：CN111161989A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201811325251.1
申请日：2018-11-08
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/32 , H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种离子注入装置，包括旋转靶盘及宽带离子束，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，所述宽带离子束的宽度为a、所述环形注入区域的半径为b，则a≥b。本发明具有能够降低在大剂量注入、高产能的应用场景下的晶片表面的温升，满足一些对温度敏感的特殊材料的注入工艺要求的优点。
-
公开(公告)号：CN111063599A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201811201334.X
申请日：2018-10-16
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/10 , H01J37/317 , H01J37/244 , H01J37/147 , H01L21/67
摘要： 一种离子注入装置，包括屏蔽房、依次设置的离子源、引出电极、分析器、分析光栏、聚焦透镜、加速管、对称静电扫描电极以及均匀磁场平行透镜，屏蔽房内设有相互隔离的第一腔室和第二腔室，第一腔室内设有高压仓，第二腔室内设有靶室，离子源、引出电极、分析器、及分析光栏设于高压仓内，加速管设于第一腔室内，高压仓上设有供离子束进入加速管的第一出口，第一腔室上设有供离子束进入对称静电扫描电极的第二出口，对称静电扫描电极和均匀磁场平行透镜设于第二腔室内，靶室内设有靶台、定向台、片库以及至少一个用于传递晶圆的机械手，靶室上设有供离子束注入靶台上晶圆的注入口。本发明具有结构简单、成本低、便于实现高能高精度注入等优点。
-
公开(公告)号：CN107585562B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201710841848.0
申请日：2017-09-18
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： B65G47/90
摘要： 本发明公开了一种石墨舟夹持机构，包括安装基板及两组夹持组件，两组夹持组件分设于所述安装基板两端，所述安装基板两端对应安装有沿安装基板长度方向移动所述夹持组件的转运驱动件，所述夹持组件包括连接件、一对夹爪以及一对夹紧驱动件，一对所述夹紧驱动件与一对所述夹爪一一对应连接，一对所述夹紧驱动件安装于所述连接件上，所述转运驱动件与所述连接件相连。本发明具有结构紧凑可靠，操作方便，效率高，自动化程度高，不影响石墨舟使用寿命等优点。
-
公开(公告)号：CN106392343A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610852274.2
申请日：2016-09-26
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： B23K26/70 , B23K26/064 , B23K101/36
CPC分类号： B23K26/702 , B23K26/064 , B23K2101/36
摘要： 本发明公开了一种太阳能电池片激光加工设备，包括依次布置的电池片上料台、激光加工主机及电池片下料台，激光加工主机包括输送定位工作台、上料传片组件、下料传片组件、视觉定位总成、定位背光源、激光加工单元及破片传送组件，输送定位工作台上料端通过上料传片组件与电池片上料台对接，下料端通过下料传片组件与电池片下料台对接，视觉定位总成和激光加工单元位于输送定位工作台上方，且视觉定位总成靠近输送定位工作台的上料端、激光加工单元靠近输送定位工作台的下料端，定位背光源位于输送定位工作台下方并与视觉定位总成相对布置，破片传送组件对接于下料传片组件侧面。本发明具有结构简单、成本低、生产效率高等优点。
-
公开(公告)号：CN103715048B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201310685659.0
申请日：2013-12-16
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/244 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种离子注入机竖直方向离子束角度测控系统及测量方法，测控系统包括法拉第筒，所述法拉第筒与固定杆一端固定连接，所述固定杆另一端与一根垂直于所述固定杆的连接杆固定连接，所述连接杆与能带动所述连接杆轴向转动的传动装置连接；所述传动装置与驱动电机的输出轴连接；所述固定杆与连接杆连接处安装有用于测量所述固定杆与水平面夹角的旋转编码器；所述驱动电机、旋转编码器均与运动控制器电连接；所述运动控制器通过束流实时测量控制器与所述法拉第筒电连接。本发明的测控系统结构简单，测量可靠；本发明的方法能精确检测离子注入机的离子束在竖直面的束角度，从而保证注入工件的离子束注入角度精确可测可控。
-
公开(公告)号：CN104392882A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410540635.0
申请日：2014-10-14
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要： 本发明公开了一种离子注入机的引出电极驱动装置，包括由第一伺服电机和第一带轮组件组成的齿轮驱动机构，以及第二伺服电机和第二带轮组件组成的滚珠丝杠螺母副驱动机构；所述齿轮驱动机构的带轮旋转轴上固定有少齿宽面小齿轮，滚珠丝杠螺母副驱动机构的带轮旋转轴上固定有滚珠丝杠螺母副，该滚珠丝杠螺母副的螺母固定连接有多齿窄面大齿轮，且该多齿窄面大齿轮与少齿宽面小齿轮啮合，二者均为直齿；同时，多齿窄面大齿轮中心孔内装配有电极连接轴，电极连接轴末端固定有引出电极。该驱动装置可实现引出电极的轴向伸缩和旋转联动，具有调节速度快，且能够方便调整引出电极旋转角度的优点。
-
公开(公告)号：CN103354216A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201310272999.0
申请日：2013-07-02
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01L21/683 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种批传送太阳能电池片的大气机械手终端夹持器。为了平稳地实现电池片的批传送，所述终端夹持器，包括装配在大气传片机械手上的安装基座，其结构特点是，还包括装在安装基座上的多个并行排列的载片条板；每个所述载片条板上设有多个用于吸附电池片的吸盘。本发明能实现批量传递电池片，提高生产效率，负压吸附的电池片能准确定位防止滑移。
-
公开(公告)号：CN111199858B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN201811381226.5
申请日：2018-11-20
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种成形宽带离子束注入机，包括用于产生成形宽带离子束的离子源、引出电极、分析器、带分析缝的分析光栏、平行透镜以及旋转靶盘，所述离子源、引出电极、分析器、分析光栏、平行透镜以及旋转靶盘依次布置，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，经过所述平行透镜后的成形宽带离子束的宽度为a、所述环形注入区域的半径为b，则a≥b。本发明具有能够降低在大剂量注入、高产能的应用场景下的晶片表面的温升，满足一些对温度敏感的特殊材料的注入工艺要求的优点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
82 条记录 (耗时 0.046 秒)
