发明公开
- 专利标题: 一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置
- 专利标题(英): Near field probe range finding method and device based on laser reflection
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申请号: CN201910224214.X申请日: 2019-03-22
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公开(公告)号: CN109917407A公开(公告)日: 2019-06-21
- 发明人: 王化斌 , 郭缘森 , 李早霞 , 耿国帅 , 杨忠波
- 申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 申请人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 代理机构: 北京同恒源知识产权代理有限公司
- 代理商 赵荣之
- 主分类号: G01S17/08
- IPC分类号: G01S17/08
摘要:
本发明涉及一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置,属于太赫兹显微成像领域。该方法基于近场探针测距装置实现,该测距装置包括激光器,可见光源,可见光显微镜,光电导微探针,样品,样品位移台,电机控制盒以及计算机。所述方法具体包括:S1:将样品放置在样品位移台上;S2:可见光照射在光电导微探针针尖上,通过可见光显微镜结合CCD探测器实时获取针尖附近的场景,并传输到计算机进行图像处理及特征提取,得到光电导微探针-样品在图像尺度上的间距S;S3:通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式,计算得到光电导微探针-样品的实际距离d。本发明用于准确测量光电导微探针与样品间距和自动调节其间距。