一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置
摘要:
本发明涉及一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置,属于太赫兹显微成像领域。该方法基于近场探针测距装置实现,该测距装置包括激光器,可见光源,可见光显微镜,光电导微探针,样品,样品位移台,电机控制盒以及计算机。所述方法具体包括:S1:将样品放置在样品位移台上;S2:可见光照射在光电导微探针针尖上,通过可见光显微镜结合CCD探测器实时获取针尖附近的场景,并传输到计算机进行图像处理及特征提取,得到光电导微探针-样品在图像尺度上的间距S;S3:通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式,计算得到光电导微探针-样品的实际距离d。本发明用于准确测量光电导微探针与样品间距和自动调节其间距。
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