发明公开
CN109950186A 一种石墨框装片装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种石墨框装片装置
- 专利标题(英): Graphite frame mounting device
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申请号: CN201711388001.8申请日: 2017-12-20
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公开(公告)号: CN109950186A公开(公告)日: 2019-06-28
- 发明人: 张宇 , 张锦熙
- 申请人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
- 专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
- 代理机构: 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 周长清; 徐好
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种石墨框装片装置,包括石墨框定位组件、上料同步带、下料同步带、用于校正硅片与上料同步带的相对位置的校正组件、用于定位上料同步带上成列硅片的定位组件、平移组件以及升降组件,所述上料同步带和所述下料同步带平行布置于所述石墨框定位组件两侧,所述校正组件和所述定位组件沿所述上料同步带的传送方向布置,所述平移组件横跨于所述石墨框定位组件、上料同步带以及下料同步带上方,所述升降组件安装于所述平移组件上,升降组件上沿所述上料同步带的传送方向均匀安装有多个用于装片的吸盘。本发明具有硅片定位准确、装片动作简单、装片效率高等优点。
IPC分类: