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公开(公告)号：CN113903817B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202111045200.5
申请日：2021-09-07
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/068 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种晶硅太阳能电池选择性发射极的制备方法，包括以下步骤：在硅基体表面制备硼原子掺杂浓度≥1E21atoms/cm3的硼硅玻璃薄膜；采用激光对硅基体表面金属接触区域的硼硅玻璃薄膜进行局部掺杂；对经过局部掺杂后的硅基体进行高温退火，完成对晶硅太阳能电池选择性发射极的制备。本发明制备方法，通过先在硅基体表面制备高掺杂浓度的硼硅玻璃薄膜，进而通过激光选择性掺杂和高温退火处理制备得到了性能更佳的晶硅太阳能电池选择性发射极，有利于显著提升晶硅太阳能电池的光电转换效率；同时本发明制备方法还具有工艺简单、操作方便、易于控制等优点，能够直接利用现有设备进行制备，适合性强，便于工业化利用。
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公开(公告)号：CN115064606B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202210680729.2
申请日：2022-06-16
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种用于提高多晶硅层钝化效果的水汽退火设备及水汽退火工艺，该水汽退火设备包括用于放置待处理退火样品的腔体，腔体上连通有第一进气管道、尾气排出管道和第二进气管道，位于腔体内部的第二进气管道上设有若干个水汽喷出口，位于腔体外部的第二进气管道连通有用于生产水汽的生产装置。该水汽退火工艺包括对硅片进行高温晶化，通入水汽进行水汽退火处理。本发明水汽退火设备及水汽退火工艺，既可以精确控制低比例水汽进入量，又能保证水汽在腔体内均匀分布，适用于补充并增加多晶硅中的氢含量，以及在提高水汽退火均匀性的同时也能降低水汽对多晶硅层的氧化，有利于提高多晶硅层的钝化效果，适用于制备高性能的晶硅太阳能电池。
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公开(公告)号：CN115020542B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202210614145.5
申请日：2022-05-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0216 , C23C16/34 , C23C16/455 , C23C16/515 , C23C16/52 , C23C16/56
摘要： 本发明公开了一种去除ALD绕镀氧化铝的PECVD镀膜方法，包括以下步骤：S1、进舟，将装载硅片的载具通过推舟运动机构送入反应腔体；S2、抽真空，将反应腔体内抽至真空状态；S3、第一次恒温，控制反应腔体温度恒定；S4、检漏，监测反应腔体内的压力变化情况，以符合工艺所预设的漏率；S5、第一次沉积，进行第一次硅片沉积；S6、第二次沉积，进行第二次硅片沉积；S7、回常压，将反应腔体恢复常压；S8、出舟。本发明具有操作简单、无需增加额外工序、ALD绕镀氧化铝去除效果显著且有利于氢体钝化等优点。
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公开(公告)号：CN118147607A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410125497.3
申请日：2024-01-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种LPCVD设备在线等离子清洗装置及清洗方法，装置的加热炉体同轴嵌套在石英反应炉外周，石英反应炉的炉口设有炉口门板和炉门，炉门上设有进气孔，炉尾门板上设有抽气管；炉口门板上设有与射频电源组件连接的电极引入插座，炉门上设有相互连接的电极柱和I CP发生器，I CP发生器环绕在石英管进气端的外周，石英管的排气端贯穿炉门；关闭炉门，电极柱插入电极引入插座内，I CP发生器与射频电源组件连接，石英管延伸至石英反应炉内，在石英管内通入氟化物气体，并开启射频电源组件，在I CP发生器的作用下，氟化物气体形成含氟等离子体，以实现石英反应炉在线清洗。本发明具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点。
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公开(公告)号：CN117737696A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311764893.2
申请日：2023-12-20
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种CVD工艺设备的柔性尾气回收电路系统，包括加热单元、测温单元、加热开关单元和电子调节器，所述加热单元安装于所述尾气管路上，用于对尾气管路进行加热；所述测温单元安装于所述尾气管路上，用于检测所述尾气管路内的温度；所述测温单元与所述电子调节器相连，用于将检测的温度发送至电子调节器；所述加热开关单元的输入端与所述电子调节器相连，所述加热开关单元的输出端串联在所述加热单元的加热回路中，用于控制加热单元的开启与关闭。本发明能够将尾气管路的温度控制在设定在合理范围，来保证反应产物以气体形式进入尾气处理系统，而且具体过程全部自动完成，提高了系统的自动化水平。
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公开(公告)号：CN117508979A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311857390.X
申请日：2023-12-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开一种光伏组件自动合托系统及合托方法，系统包括：动合托设备、链条机和母托盘，链条机用于传输光伏组件和母托盘，自动合托设备用于实现光伏组件自动合托至母托盘中；自动合托设备包括：支撑驱动机构、配重机构、提升机构和底座；支撑驱动机构设置在底座上，配重机构和提升机构均设置在支撑驱动机构上，配重机构与提升机构传动连接，提升机构用于叉取光伏组件；支撑驱动机构带动配重机构和提升机构沿着底座进行水平方向的移动，在配重机构的辅助下，提升机构带动光伏组件沿着支撑驱动机构进行竖直方向的移动，实现光伏组件自动合托。本发明具有结构紧凑、操作简便、自动化程度高、兼容性高且稳定性佳等优点，提高了光伏组件的存储效率。
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公开(公告)号：CN117123565A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311175182.1
申请日：2023-09-12
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种石墨舟干法清洗设备及清洗方法，设备包括：清洗腔室、炉门、放电单元、真空单元、进气单元和偏置电压检测单元；清洗腔室的一端设有炉门，便于石墨舟进出清洗腔室，另一端与真空单元连接，实现清洗腔室内部抽真空；清洗腔室外侧均布有多组放电单元，实现工艺气体在清洗腔室内部电离并清洗石墨舟；清洗腔室底部设有进气单元和偏置电压检测单元，进气单元用于输送工艺气体至清洗腔室内部，偏置电压检测单元采用直流偏置电压法对石墨舟清洗过程产生的电子密度和离子能量进行监测，得到石墨舟清洗前后的偏压值变化，根据偏压值变化判断石墨舟清洗终点。本发明具有结构紧凑、操作便捷、清洗效率高且能够精准判定石墨舟清洗终点等优点。
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公开(公告)号：CN117117038A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311188579.4
申请日：2023-09-14
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0236 , H01L31/068 , H01L31/0216
摘要： 本发明公开了一种TOPCon电池结构及其制备方法，包括以下步骤：对硅基体双面制绒；在正面依次沉积隧穿氧化硅层、硼掺杂非晶硅层、碱刻蚀阻挡层和硼掺杂非晶硅层；在正面栅线区域进行图形化掩膜、碱刻蚀；去除正面栅线区域的图形化掩膜；在背面制备隧穿氧化硅层和磷掺杂非晶硅层，退火处理；在沉积钝化层、减反层、印刷电极，烧结和注入。本发明，采用图形化掩膜+碱刻蚀阻挡层+碱刻蚀的方法在正面形成图案化的poly‑finger结构，有利于显著提升电池效率，也能够有效拓宽工艺窗口，具有工艺简单、工艺窗口宽、易于操作、能耗低、易量产等优点，有利于降低制备成本和制备难度，可实现TOPCon电池的批量化生产以及广泛应用。
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公开(公告)号：CN117080314A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311027590.2
申请日：2023-08-15
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/20 , H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/068 , H01L31/0747
摘要： 本发明公开了一种叉指式背接触电池及其制备方法，其制备方法包括在硅基体正面制备本征非晶硅层、P型掺杂层或N型掺杂层，在硅基体背面制备交替排布的P型和N型隧穿钝化接触结构。本发明中，采用沉积氧化硅掩膜+激光刻蚀+清洗的方式可制备图形尺寸精确可控的背面n/p‑poly结构，采用非晶硅掩膜+激光开窗+湿法刻蚀的方式可以精准实现背面N区与P区的有效绝缘，不仅可以提升钝化结构的钝化效果，而且能够显著提升电池的效率，由此可制备得到转换效率高的叉指式背接触电池，其光电转换效率高达26.33％。同时，本发明还具有工艺简单、易于操作、易量产等优点，有利于降低制备成本以及实现批量化生产，便于推广应用。
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公开(公告)号：CN116477328A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310412373.9
申请日：2023-04-17
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
发明人： 陈芳
摘要： 本发明公开了一种不等距的同步拨料装置及拨动分料方法，包括依次设置的皮带输送组件、滚轮过渡组件和机架，机架上安装有治具滑道、滑轮和不等距的拨料机构，拨料机构位于治具滑道下方；沿着线材的输送方向，治具滑道与滑轮分别设置在机架上相对的两侧；装载线材的线材装载治具依次经由皮带输送组件和滚轮过渡组件输送后进入机架上，线材装载治具的一端与治具滑道滑动连接，线材装载治具的一端与滑轮滑动连接，在拨料机构的拨动下，线材装载治具在机架上移动输送。本发明还公开了基于上述拨料装置的拨动分料方法。本发明结构紧凑、操作简单、稳定性高等优点，能够在线材处理设备中实现上料端和工序工站间同步拨料。
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