发明授权
- 专利标题: 一种阵列基板及其制作方法
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申请号: CN201910197001.2申请日: 2019-03-15
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公开(公告)号: CN109991787B公开(公告)日: 2022-06-07
- 发明人: 卓恩宗 , 刘振 , 雍万飞 , 张合静
- 申请人: 惠科股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼
- 专利权人: 惠科股份有限公司
- 当前专利权人: 惠科股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼
- 代理机构: 深圳市百瑞专利商标事务所
- 代理商 邢涛
- 主分类号: G02F1/1362
- IPC分类号: G02F1/1362 ; H01L27/12
摘要:
本申请公开了一种阵列基板及其制作方法。所述阵列基板的制作方法包括步骤:形成衬底;在所述衬底上依次形成第一金属层、栅极绝缘层、半导体层和第二金属层;在所述第二金属层上形成钝化层;在所述钝化层上形成透明电极层;其中,所述钝化层膜厚在2000埃米到3000埃米之间。本申请通过改变钝化层的膜厚,将钝化层膜厚做在2000埃米到3000埃米之间,使钝化层的薄膜应力降低,增加了钝化层和第二金属层之间的附着力,抑制了底切的产生,提高了液晶面板的良率。
公开/授权文献
- CN109991787A 一种阵列基板及其制作方法 公开/授权日:2019-07-09
IPC分类: