一种阵列基板及其制作方法
摘要:
本申请公开了一种阵列基板及其制作方法。所述阵列基板的制作方法包括步骤:形成衬底;在所述衬底上依次形成第一金属层、栅极绝缘层、半导体层和第二金属层;在所述第二金属层上形成钝化层;在所述钝化层上形成透明电极层;其中,所述钝化层膜厚在2000埃米到3000埃米之间。本申请通过改变钝化层的膜厚,将钝化层膜厚做在2000埃米到3000埃米之间,使钝化层的薄膜应力降低,增加了钝化层和第二金属层之间的附着力,抑制了底切的产生,提高了液晶面板的良率。
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