一种磁性随机存储器的制作方法
摘要:
本发明提供了一种磁性随机存储器的制作方法,包括如下步骤:(1)在基底上沉积底电极金属层、磁性隧道结多层膜和硬掩模;(2)图形化并刻蚀硬掩模和磁性隧道结多层膜,以形成存储器记忆单元,然后沉积第一覆盖层覆盖磁性隧道结和剩余的硬掩模;(3)图形化并刻蚀形成底电极和假底电极,然后沉积第二覆盖层覆盖被刻蚀暴露的底电极和假底电极边缘;(4)沉积电介质并磨平,然后在存储区域制作位线通孔,在逻辑区域制作逻辑通孔。由于在图案化磁性隧道结之后,才对底电极进行图案化,将会避免先进行图案化带来的底电极顶部的表面不平整;由于多加了一道底电极掩模,可以随意调整底电极的大小,有效避免了底电极太小带来的铜损伤或刻蚀不足。
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