本发明公开了一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法，涉及气体流体领域。该涡轮分子泵转子包括至少一组依次层叠设置的第一转子环、第二转子环、第三转子环和叶片；其中，第一转子环和第三转子环为铝或铝合金转子环，第二转子环为钛或钛合金间隔转子环，叶片为钛或钛合金叶片。该涡轮分子泵转子的质量轻、性能良好、高速性优异，其结构兼具了成本低、轻质铝或铝合金转子与中等重量、高强度的钛或钛合金叶片的优点，并且能够有效避免叶片在焊接冷却过程中产生屈曲变形。