发明公开
- 专利标题: 等离子体处理装置
- 专利标题(英): PLASMA PROCESSING DEVICE
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申请号: CN201910017949.5申请日: 2019-01-09
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公开(公告)号: CN110021515A公开(公告)日: 2019-07-16
- 发明人: 赵秀范 , 柳海永 , 李珠熙 , 张容文 , 许明洙
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 张晓; 张逍遥
- 优先权: 10-2018-0002803 2018.01.09 KR
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32
摘要:
提供了一种等离子体处理装置。所述等离子体处理装置包括:腔室;多个介电窗,覆盖腔室的顶部;盖框架,在同一平面上支撑所述多个介电窗;多个支撑杆,支撑盖框架的顶部;以及多个天线,位于所述多个介电窗上方,其中,所述多个天线包括位于由所述多个支撑杆限定的区域内部并具有环形形式的第一天线以及位于由所述多个支撑杆限定的区域外部并具有环形形式的第二天线,并且第一天线中的第一电流方向与第二天线中的第二电流方向彼此相同。
公开/授权文献
- CN110021515B 等离子体处理装置 公开/授权日:2024-06-18