本发明公开了一种涡轮分子泵转子及其扩散焊接方法，涉及气体流体领域。该涡轮分子泵转子包括多组堆叠设置的转子本体，每组转子本体包括同轴设置的两个转子环和一个翼板，且翼板设置于两个转子环之间；转子环具有台阶部和凹口部，翼板的一端用于与台阶部的侧壁抵接，另一端向远离台阶部的方向延伸，且当翼板位于两个转子环之间时，上方的转子环的凹口部用于套设于下方的转子环的台阶部上。通过将上方转子环的凹口部套设于下方转子环的台阶部，并使得翼板位于两个转子环之间，使得该涡轮分子泵转子在进行焊接作业时，无需使用任何工装夹具进行辅助，即可保证良好的中心精度，从而可保证焊后涡轮分子泵转子具有高的尺寸精度。