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一种太阳能电池清洗方法
Abstract:
本发明公开了一种太阳能电池清洗方法,包括:利用含O3的溶液对硅片进行预清洗,并对预清洗后的硅片进行水洗;对硅片进行碱抛光,并进行水洗;利用含O3的溶液对碱抛光后的硅片进行清洗,并利用含HCL和HF的混合液对硅片进行清洗;对硅片进行水洗,并对硅片进行烘干。本申请公开的上述技术方案,在对硅片进行碱抛光之前及在对硅片进行碱抛光之后,均利用含O3的溶液来对硅片进行清洗,由于O3较易获取,其成本比KOH+H2O2混合液成本低,因此,则可以降低对硅片进行清洗的成本,而且由于O3在反应后直接生成O2,则无需利用专门的管路和容器等来对清洗后的清洗物进行处理,从而则可以简化其处理过程,降低后续处理的繁琐程度。
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