Invention Publication
CN110047974A 一种太阳能电池清洗方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 一种太阳能电池清洗方法
- Patent Title (English): Solar cell cleaning method
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Application No.: CN201910329152.9Application Date: 2019-04-23
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Publication No.: CN110047974APublication Date: 2019-07-23
- Inventor: 苗凤秀 , 张树德 , 魏青竹 , 连维飞 , 倪志春
- Applicant: 苏州腾晖光伏技术有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市江苏常熟沙家浜常昆工业园腾晖路1号
- Assignee: 苏州腾晖光伏技术有限公司
- Current Assignee: 苏州腾晖光伏技术有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市江苏常熟沙家浜常昆工业园腾晖路1号
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Agent 罗满
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18 ; H01L21/02

Abstract:
本发明公开了一种太阳能电池清洗方法,包括:利用含O3的溶液对硅片进行预清洗,并对预清洗后的硅片进行水洗;对硅片进行碱抛光,并进行水洗;利用含O3的溶液对碱抛光后的硅片进行清洗,并利用含HCL和HF的混合液对硅片进行清洗;对硅片进行水洗,并对硅片进行烘干。本申请公开的上述技术方案,在对硅片进行碱抛光之前及在对硅片进行碱抛光之后,均利用含O3的溶液来对硅片进行清洗,由于O3较易获取,其成本比KOH+H2O2混合液成本低,因此,则可以降低对硅片进行清洗的成本,而且由于O3在反应后直接生成O2,则无需利用专门的管路和容器等来对清洗后的清洗物进行处理,从而则可以简化其处理过程,降低后续处理的繁琐程度。
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