发明公开
CN110057323A 转台相交度和垂直度测量装置与方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 转台相交度和垂直度测量装置与方法
- 专利标题(英): Turntable intersection degree and verticality measurement device and method
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申请号: CN201910276846.0申请日: 2019-04-08
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公开(公告)号: CN110057323A公开(公告)日: 2019-07-26
- 发明人: 李艳红 , 柴娟芳 , 赵吕懿 , 朱炜 , 陈强华 , 荆娜 , 沈涛 , 张琰 , 冯晓晨 , 田义 , 杨扬
- 申请人: 上海机电工程研究所
- 申请人地址: 上海市闵行区元江路3888号(八部)
- 专利权人: 上海机电工程研究所
- 当前专利权人: 上海机电工程研究所
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区元江路3888号(八部)
- 代理机构: 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 庄文莉
- 主分类号: G01B11/26
- IPC分类号: G01B11/26 ; G01C25/00
摘要:
本发明提供了一种转台相交度和垂直度测量装置与方法,所述转台相交度和垂直度测量方法包含以下步骤:分光步骤:将双频总光线分光成多路双频子光线;干涉光路形成步骤:使用双频子光线对转台进行测量,获得参考光与测量干涉光路;转台检测步骤:根据参考光与测量干涉光路的相位差,得到位移测量信号,根据多个测量干涉光路对应的位移测量信号,得到转台的相交度和/或垂直度。本发明使用一个公共靶标,大大优化了多轴转台的测量过程,且靶标的安装与拆卸不需拆卸转台本身。