转台相交度和垂直度测量装置与方法
摘要:
本发明提供了一种转台相交度和垂直度测量装置与方法,所述转台相交度和垂直度测量方法包含以下步骤:分光步骤:将双频总光线分光成多路双频子光线;干涉光路形成步骤:使用双频子光线对转台进行测量,获得参考光与测量干涉光路;转台检测步骤:根据参考光与测量干涉光路的相位差,得到位移测量信号,根据多个测量干涉光路对应的位移测量信号,得到转台的相交度和/或垂直度。本发明使用一个公共靶标,大大优化了多轴转台的测量过程,且靶标的安装与拆卸不需拆卸转台本身。
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