一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置
摘要:
本发明公开了一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置,该装置包括:二次电子测量模块包括电子枪和收集极,所述电子枪设于所述收集极的正上方,且所述电子枪和所述收集极的中心轴线处于同一直线上;样品台模块,其设有样平台,所述样平台的底面设有沿X、Y、Z轴三个方向的滑动轨道;电晕充电模块包括高压电极和电晕针,所述高压电极与所述电晕针连接;表面电位测量模块,其包括高压接口和静电探头,所述静电探头和所述高压接口连接;真空/高气压系统,其包括外腔体、气体接口、真空接口、气瓶和真空泵,所述气体接口和所述真空接口均设于所述外腔体壁上且与所述外腔体连通,所述气瓶和所述气体接口连接,所述真空泵与所述真空接口连接。
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