一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管
Abstract:
一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管,包括P型衬底,在P型衬底上设有氧化层埋层,在氧化层埋层上设有N型漂移区,其特征在于,在N型漂移区的表面设有二氧化硅氧化层,在N型漂移区内设有LIGBT和NMOS,所述LIGBT包括第一N型重掺杂区,在第一N型重掺杂区内设有P型重掺杂阳极区,所述NMOS包括第二N型重掺杂区,在第二N型重掺杂区内设有P型阱区,在P型阱区内包围有N型重掺杂阳极区,所述第二N型重掺杂区与P型阱区电连接,在二氧化硅氧化层内设有多晶硅栅且所述多晶硅栅自N型重掺杂阳极区的上方区域跨过P型阱区并进入第二N型重掺杂区的上方区域,所述多晶硅栅还与N型重掺杂阳极区及P型重掺杂阳极区连接。
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