- 专利标题: 一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及制备方法
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申请号: CN201910562431.X申请日: 2019-06-26
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公开(公告)号: CN110221369B公开(公告)日: 2020-10-27
- 发明人: 李强 , 张启凡 , 秦潇 , 云峰
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 田洲
- 主分类号: G02B5/08
- IPC分类号: G02B5/08 ; C23C14/06 ; C23C14/35
摘要:
本发明提供了一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及方法,布拉格反射镜包括衬底,衬底表面设有S个薄膜周期结构,S为整数且S≥1;薄膜周期结构包括BN低折射率层和设置在BN低折射率层上的BAlN高折射率层;制备布拉格反射镜的方法:(1)将干净衬底放入腔室内加热;(2)只开启BN靶材电源,在衬底表面溅射一层BN薄膜;(3)保持BN靶材电源功率不变,开启Al靶材电源,溅射一层BAlN薄膜;(4)S>1时,重复步骤(2)、(3),实现具有多个薄膜周期结构的布拉格反射镜的制备。制备方法简单,薄膜平整度高,可以制备多个薄膜周期结构的布拉格反射镜,并且可以实现大面积产业化制备。
公开/授权文献
- CN110221369A 一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及制备方法 公开/授权日:2019-09-10