一种直线运动系统五自由度误差同步测量装置及方法
摘要:
本发明公开了一种直线运动系统五自由度误差同步测量装置及方法,包括固定发射单元、移动测量单元以及信号处理单元;四个二维PSD位敏传感器检测到的光电信号经信号处理电路后通过USB与上位机连接,倾角传感器通过蓝牙与上位机通讯,通过测量分析模块的处理可解耦得到直线运动系统的水平方向直线度、竖直方向直线度、俯仰角、偏摆角和滚转角误差。本发明严格的位置关系设计使得光学元件装配误差对测量结果的影响可以忽略不计。所有的测量数据均由传感器直接测得,而不是通过建立复杂的数学模型间接计算得到,减少了使用复杂数学计算而产生的误差。
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