- 专利标题: 一种直线运动系统五自由度误差同步测量装置及方法
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申请号: CN201910448049.6申请日: 2019-05-27
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公开(公告)号: CN110230999B公开(公告)日: 2020-05-19
- 发明人: 郭俊康 , 李鑫波 , 刘志刚 , 郑维康 , 洪军
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 李红霖
- 主分类号: G01B11/26
- IPC分类号: G01B11/26 ; G01B11/27
摘要:
本发明公开了一种直线运动系统五自由度误差同步测量装置及方法,包括固定发射单元、移动测量单元以及信号处理单元;四个二维PSD位敏传感器检测到的光电信号经信号处理电路后通过USB与上位机连接,倾角传感器通过蓝牙与上位机通讯,通过测量分析模块的处理可解耦得到直线运动系统的水平方向直线度、竖直方向直线度、俯仰角、偏摆角和滚转角误差。本发明严格的位置关系设计使得光学元件装配误差对测量结果的影响可以忽略不计。所有的测量数据均由传感器直接测得,而不是通过建立复杂的数学模型间接计算得到,减少了使用复杂数学计算而产生的误差。
公开/授权文献
- CN110230999A 一种直线运动系统五自由度误差同步测量装置及方法 公开/授权日:2019-09-13