发明授权
- 专利标题： 在多射束柱中减少的库仑相互作用
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申请号： CN201880009523.9申请日： 2018-01-12
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公开(公告)号： CN110313048B公开(公告)日： 2021-03-12
- 发明人: A·D·布罗迪
- 申请人： 科磊股份有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 刘丽楠
- 优先权： 15/587,720 20170505 US
- 国际申请： PCT/US2018/013425 2018.01.12
- 国际公布： WO2018/203936 EN 2018.11.08
- 进入国家日期： 2019-07-31
- 主分类号： H01J37/317
- IPC分类号： H01J37/317
摘要：
可通过减少多射束检验系统的照明路径中的库仑效应来改进多电子束系统的性能。具有多个孔的射束限制孔径可位于电子束源与多透镜阵列之间，例如无场区域中。所述射束限制孔径经配置以减少所述电子束源与所述多透镜阵列之间的库仑相互作用。具有所述射束限制孔径的电子束系统可用于扫描电子显微镜中。
公开/授权文献
- CN110313048A 在多射束柱中减少的库仑相互作用 公开/授权日：2019-10-08
