- 专利标题: 一种利用石墨烯阻挡层制备氮化物垂直结构LED的方法
- 专利标题(英): Method for preparing nitride LED with vertical structure by using graphene barrier layer
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申请号: CN201910491149.7申请日: 2019-06-06
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公开(公告)号: CN110323308A公开(公告)日: 2019-10-11
- 发明人: 王新强 , 刘放 , 沈波 , 吴洁君 , 荣新 , 郑显通 , 盛博文 , 盛珊珊
- 申请人: 北京大学
- 申请人地址: 北京市海淀区颐和园路5号
- 专利权人: 北京大学
- 当前专利权人: 北京大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区颐和园路5号
- 代理机构: 北京万象新悦知识产权代理有限公司
- 代理商 王岩
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/44 ; H01L33/64
摘要:
本发明公开了一种利用石墨烯阻挡层制备氮化物垂直结构LED的方法。本发明通过在单晶金属衬底上表面引入高晶体质量的、具有六方晶体结构对称性的石墨烯阻挡层,利用石墨烯阻挡层的层内强共价键阻挡单晶金属衬底与氮化物LED的界面反应和金属原子的扩散,利用石墨烯阻挡层的层间弱分子力结合弛豫金属衬底和氮化物LED结构的晶格失配和热失配,通过表面活化处理石墨烯阻挡层提供氮化物LED的成核位点,进而得到高晶体质量、高发光效率的大功率氮化物垂直结构LED;本发明具有简化氮化物垂直结构LED制备工艺、提高氮化物LED的晶体质量和发光效率、提高氮化物LED散热能力、成本低、成品率高、设备简单易操作、适合产业化生产等优点。
公开/授权文献
- CN110323308B 一种利用石墨烯阻挡层制备氮化物垂直结构LED的方法 公开/授权日:2020-09-08
IPC分类: