发明公开
- 专利标题: 一种p/n型碳化硅欧姆接触的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of p/n type silicon carbide ohmic contact
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申请号: CN201910540297.3申请日: 2019-06-21
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公开(公告)号: CN110349839A公开(公告)日: 2019-10-18
- 发明人: 夏经华 , 张文婷 , 田丽欣 , 吴沛飞 , 安运来 , 田亮 , 查祎英 , 吴军民 , 潘艳 , 杨霏
- 申请人: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国家电网有限公司 , 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司,国家电网有限公司,国网江苏省电力有限公司电力科学研究院
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司,国家电网有限公司,国网江苏省电力有限公司电力科学研究院
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 李静
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; H01L21/285
摘要:
本发明属于碳化硅制备技术领域,具体涉及一种p/n型碳化硅欧姆接触的制备方法。该方法包括对碳化硅外延片进行前清洗和预处理,然后采用原子层沉积工艺在碳化硅外延片上依次形成3TiC/SiC层、3TiC/xSiC层和TiC层,经合金化热处理后依次形成Ti3SiC2层、过渡层和TiC层,得到具有欧姆接触特性的p/n型碳化硅;本发明采用ALD,通过控制摩尔比在碳化硅外延片上形成3TiC/SiC层,经合金化热处理后形成Ti3SiC2层,可以降低界面处势垒的高度,与碳化硅外延片形成欧姆接触,该方法避免了沉积过程与碳化硅外延片中的SiC晶圆发生合金化反应,减少了碳富集和空隙等问题的出现。
公开/授权文献
- CN110349839B 一种p/n型碳化硅欧姆接触的制备方法 公开/授权日:2021-03-12