一种p/n型碳化硅欧姆接触的制备方法
摘要:
本发明属于碳化硅制备技术领域,具体涉及一种p/n型碳化硅欧姆接触的制备方法。该方法包括对碳化硅外延片进行前清洗和预处理,然后采用原子层沉积工艺在碳化硅外延片上依次形成3TiC/SiC层、3TiC/xSiC层和TiC层,经合金化热处理后依次形成Ti3SiC2层、过渡层和TiC层,得到具有欧姆接触特性的p/n型碳化硅;本发明采用ALD,通过控制摩尔比在碳化硅外延片上形成3TiC/SiC层,经合金化热处理后形成Ti3SiC2层,可以降低界面处势垒的高度,与碳化硅外延片形成欧姆接触,该方法避免了沉积过程与碳化硅外延片中的SiC晶圆发生合金化反应,减少了碳富集和空隙等问题的出现。
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