发明公开
CN110358454A 一种通用化学机械抛光液
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种通用化学机械抛光液
- 专利标题(英): Universal chemico-mechanical polishing solution
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申请号: CN201910658529.5申请日: 2019-07-20
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公开(公告)号: CN110358454A公开(公告)日: 2019-10-22
- 发明人: 金洙吉 , 张自力 , 韩晓龙 , 朱祥龙
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构: 大连理工大学专利中心
- 代理商 李晓亮; 潘迅
- 主分类号: C09G1/02
- IPC分类号: C09G1/02
摘要:
一种通用化学机械抛光液,属于超硬材料超精密加工领域,其成分包含氧化锆磨料、硅酸钠分析纯试剂、去离子水。室温下,将磨料氧化锆、硅酸钠、分别加入去离子水中,超声设备中震荡5分钟得到化学机械抛光液。所述抛光液中,氧化锆浓度为0.05~0.09g/ml,粒径为0.05~0.2μm,所述的硅酸钠浓度为0.05~0.12g/ml。该化学机械抛光液具有通用性,能够用于抛光蓝宝石晶体,石英、金刚石、硅片、钨合金材料。相较于传统抛光液,晶体表面粗糙度降低,无损伤缺陷。且该新型抛光液的成本低廉,无需特殊工艺合成,并且所有组分均不会造成环境污染。