微同轴垂直互连结构及制备方法
摘要:
本发明适用于射频/微波模块封装技术领域,提供了一种微同轴垂直互连结构,包括:垂直内导体、垂直外导体和介质连接体;垂直内导体置于垂直外导体内部,垂直内导体与垂直外导体同轴且互不接触,垂直内导体和垂直外导体均包括至少两层;介质连接体设置在垂直内导体与垂直外导体的层间,且中部位于相邻两层垂直内导体之间、边缘位于相邻两层垂直外导体之间,用于连接垂直内导体和垂直外导体。本发明提供的微同轴垂直互连结构,结构简单,通过同轴的垂直内导体和垂直外导体传输微波/毫米波信号,减少了传输损耗,提高了应用频率的范围,适用于频率范围更广的毫米波高频超宽带产品封装中的垂直互连。
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