微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法
摘要:
本发明公开了一种微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法,其包括在聚焦离子束-扫描电镜双束系统中进行的以下工艺:选取待测的微米尺寸量级的样品颗粒;应用离子束沉积工艺在所述样品颗粒的外表面沉积第一材料,形成包覆所述样品颗粒的保护层;将包覆有保护层的所述样品颗粒焊接到样品载网上;应用离子束切割工艺对包覆有保护层的所述样品颗粒进行切割,在所述样品载网上形成厚度为纳米尺寸量级的测试样品。该方法可以简化微米级颗粒透射电子显微镜样品的制样过程,提升了制样速度,并且提高了制样的成功率。
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