发明公开
- 专利标题: 微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法
- 专利标题(英): Method for preparing micron-sized particle transmission electron microscope sample
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申请号: CN201810601158.2申请日: 2018-06-12
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公开(公告)号: CN110595848A公开(公告)日: 2019-12-20
- 发明人: 刘通 , 黄增立 , 许蕾蕾 , 赵弇斐 , 丁孙安
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 黄进
- 主分类号: G01N1/28
- IPC分类号: G01N1/28
摘要:
本发明公开了一种微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法,其包括在聚焦离子束-扫描电镜双束系统中进行的以下工艺:选取待测的微米尺寸量级的样品颗粒;应用离子束沉积工艺在所述样品颗粒的外表面沉积第一材料,形成包覆所述样品颗粒的保护层;将包覆有保护层的所述样品颗粒焊接到样品载网上;应用离子束切割工艺对包覆有保护层的所述样品颗粒进行切割,在所述样品载网上形成厚度为纳米尺寸量级的测试样品。该方法可以简化微米级颗粒透射电子显微镜样品的制样过程,提升了制样速度,并且提高了制样的成功率。
公开/授权文献
- CN110595848B 微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法 公开/授权日:2022-04-01