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公开(公告)号：CN108068103B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN201610999920.8
申请日：2016-11-14
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 , 上海磐颖实业有限公司
摘要： 本发明揭示一种全机械驱动并带防意外开启机构的机械手，包括一个机械手框架，至少两个铰接在机械手框架上可以自由转动的机械手手指，一个自由端朝向机械手开口方向、另一个端用连杆与机械手手指分别相铰接的开启推杆，一个跨装在机械手指及机械手框架上的手指锁和至少两个机械手手指锁死机构。该机械手不含电动或气动伺服机构，用简单机械外力推动手指锁来实现机械手的抓取、放下、防意外开启锁死的动作。该全机械驱动机械手克服了因电动或气动伺服系统的体积、线圈的挥发性、耐高性而无法满足真空、高洁净、高温、狭小空间环境对机械手的使用要求。
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公开(公告)号：CN110595848A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201810601158.2
申请日：2018-06-12
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N1/28
摘要： 本发明公开了一种微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法，其包括在聚焦离子束-扫描电镜双束系统中进行的以下工艺：选取待测的微米尺寸量级的样品颗粒；应用离子束沉积工艺在所述样品颗粒的外表面沉积第一材料，形成包覆所述样品颗粒的保护层；将包覆有保护层的所述样品颗粒焊接到样品载网上；应用离子束切割工艺对包覆有保护层的所述样品颗粒进行切割，在所述样品载网上形成厚度为纳米尺寸量级的测试样品。该方法可以简化微米级颗粒透射电子显微镜样品的制样过程，提升了制样速度，并且提高了制样的成功率。
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公开(公告)号：CN109437093A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811257763.9
申请日：2018-10-26
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种自支撑微纳米结构的制作方法，包括：在衬底上形成牺牲层以及覆盖牺牲层的功能层；在功能层上预设图案化区域，在图案化区域内进行图案化处理，以在功能层中形成露出部分牺牲层的图案部；其中，部分牺牲层为图案化区域在牺牲层的投影范围内的牺牲层；将部分牺牲层去除，获得自支撑微纳米结构。本发明在制作自支撑微纳米结构时，可控性、重复性、成品率较高，能应用的微纳米材料种类较多，而且能够形成的自支撑微纳米结构更加复杂。
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公开(公告)号：CN102664350A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210060948.7
申请日：2012-03-09
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 , 苏州纳维科技有限公司
摘要： 本发明涉及微纳光子器件与激光技术领域。本发明提供一种等离子激元纳米激光器，包括一第一介质层、一第一隔离层、和一增益介质腔体，所述第一隔离层置于所述第一介质层的裸露表面上，所述增益介质腔体置于所述第一隔离层的裸露表面上，其特征在于，所述第一隔离层的厚度与所述增益介质腔体的纵向厚度的比值范围为小于0.5。本发明提供的一种等离子激元纳米激光器，优点在于，减少了激光的阈值。
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公开(公告)号：CN102651421A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201210135778.4
申请日：2012-05-04
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： H01L31/101 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明提供一种光谱选择性光电探测器，包括基底以及在基底上依次设置的等离激元结构层和掺锡氧化铟层，所述等离激元结构层包括多个介质结构单元，每个介质结构单元包括一条状主吸收窗口以及一对或多对条状吸收调节窗口，所述条状吸收调节窗口位于条状主吸收窗口一侧或两侧。本发明还提供一种如上述的光谱选择性光电探测器的制备方法，包括步骤：1）提供基底；2）在基底上生长等离激元结构层并图形化，以形成介质结构单元；3）在等离激元结构层上生长掺锡氧化铟层。
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公开(公告)号：CN108068118A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201611000379.1
申请日：2016-11-14
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 , 上海磐颖实业有限公司
摘要： 本发明揭示一种应用于真空互联系统的样品传送系统，包括真空管道；至少两个样品托及与该至少两个样品托相应的两个真空升降台；至少一个全机械驱动机械手，该全机械驱动机械手至少用于样品在样品托和样品托之间的传送，以及驱动样品的上下面翻转；至少一个样品机械手，该样品机械手至少用于将样品托中的样品取送至对应设备；至少两个真空磁力杆，分别用于驱动全机械驱动机械手和勺形样品机械手。采用真空中全机械运动实现样品从一个样品托到另一个样品托或设备的传送，以及对样品上下面的翻转，真空中不采用电动或气动伺服驱动样品传送过程，不影响整系统的真空度、洁净度，且能适应真空互联系统中局域高温工作条件和空间尺寸。
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公开(公告)号：CN106483339A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510554172.8
申请日：2015-09-02
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01Q60/24
摘要： 本发明提供一种半导体材料表面微区光电响应测量装置及测量方法，所述装置包括样品台，用于放置待测样品；原子力显微镜导电探针，与待测样品接触，原子力显微镜导电探针、待测样品及电源形成电学回路；波长连续可调的单色光路系统，使波长连续可调的单色光照射在原子力显微镜导电探针与待测样品接触区域，在待测样品表面激发产生光生载流子；锁相放大器，信号输入端与原子力显微镜导电探针电连接，用于测量原子力显微镜导电探针获得的光电信号；电源通过原子力显微镜导电探针向待测样品表面施加偏压，待测样品表面光生载流子在偏压的影响下，形成光电信号，原子力显微镜导电探针收集光电信号并将光电信号传导至锁相放大器，以获得光电响应特性。
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公开(公告)号：CN104713670B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201310668841.5
申请日：2013-12-11
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01L1/25
摘要： 本发明提供一种探针型压力传感器及其制作方法，所述探针型压力传感器包括声表面波延迟线及探针，所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置，所述探针制作在压电衬底上并设置在声表面波发生器与声表面波接收器之间，在探针受到力的作用的情况下，声表面波延迟线的相位或频率发生变化。本发明探针型压力传感器的优点在于，其能够实现具有微纳米空间分辨率的力的传感，且获得更高的灵敏度和精确度。
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公开(公告)号：CN106033829A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201510106462.6
申请日：2015-03-11
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明提供一种等离激元窄带吸收薄膜，包括基底层及设置于所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒按一定周期排列形成。本发明的优点在于：1、相比于金属颗粒中的自由电子的等离激元共振，热损耗能够大大降低。2、能够实现强局域的电磁共振窄波长光吸收，进一步增强电磁波与介电颗粒作用强度，因此可以在不均匀的环境中实现窄波长的强局域共振响应。3、可以调节电磁能量在介质层和介电颗粒的吸收比例，从而降低金属热损耗。
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公开(公告)号：CN106033059A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201510106412.8
申请日：2015-03-11
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明提供一种电场增强结构，包括基底层及设置在所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒形成，所述介电颗粒的折射率大于所述隔离层的折射率。本发明的优点在于，高折射率介电颗粒能够和入射的电磁场相互作用产生谐振的电磁耦合模式，热损耗能够大大降低；介电颗粒靠近金属，保持一定的低折射率的隔离层，介电颗粒的电磁谐振模式能够与邻近金属的等离激元模式相互作用，导致介电颗粒和金属之间形成极大的电磁增强场；低折射率隔离层的存在能够避免金属和探测物直接接触，有效防止探测物的拉曼信号、荧光信号等的淬灭现象的发生。
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